No/VOL: 07/2013 Page no. 307
Authors: Katarzyna Tadaszak :
Title: Nanokompozyty osadzane metodą rozpylania magnetronowego i ich zastosowania
Abstract: Cienkie warstwy nanokompozytów ze względu na ciekawe właściwości znajdują coraz szersze zastosowanie w różnych gałęziach przemysłu, od elektroniki, przez mechanikę po fotowoltaikę. W pracy zostały przedstawione możliwości wykorzystania reaktywnego rozpylania magnetronowego do nanoszenia warstw kompozytów o rozmiarach charakterystycznych 10 – 300 nm. Omówione zostały właściwości mieszanin tlenków i azotków z metalami (Al, Ti) i wstępnie scharakteryzowane pod kątem możliwych zastosowań.
Key words: reaktywne rozpylanie magnetronowe, nanokompozyty, cienkie warstwy.