Numer: 09/2022 Str. 239
Autorzy: S. Iwanek , Jerzy Sanetra , Konstanty Marszałek , Zbigniew Kąkol :
Tytuł: Optyczna metoda badania jednorodności cienkowarstwowych elektrod do ogniw fotowoltaicznych
Streszczenie: Przedstawiono nową, nieniszczącą, optyczną metodę badania jednorodności ogniw fotowoltaicznych. Jednorodność grubości i stałych optycznych osadzonych elektrod o dużej powierzchni (15,6*15,6 cm*cm) zmierzono metodą elipsometrii spektroskopowej. Zaprojektowano i uruchomiono urządzenie do napylania jonowego elektrod metalicznych (Al, Mo). Do osadzania elektrod przezroczystych (ZnO:Al) zastosowano urządzenie ALD. Przedstawiono opis systemów do napylania próżniowego oraz wyniki badań.
Słowa kluczowe: fotowoltaika.