Przegląd Elektrotechniczny

Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page



Numer: 01/2016 Str. 93

Autorzy: Ewa Korzeniewska , Piotr Murawski , Andrzej Krawczyk , Ryszard Pawlak :

Tytuł: Detekcja defektów cienkich struktur elektroprzewodzących z wykorzystaniem termografii

Streszczenie: W artykule zaprezentowano metodę wykrywania defektów warstw cienkich elektroprzewodzących powstałych w procesie ich wytwarzania lub użytkowania za pośrednictwem analizy zdjęć termograficznych. Warstwy te zostały wytworzone na elastycznym podłożu kompozytowym z wykorzystaniem technologii osadzania próżniowego PVD. W wyniku przepływu prądu elektrycznego przez próbki, dochodzi do ich nierównomiernego nagrzewania, a to stanowi podstawę do detekcji niejednorodności struktur w analizie termograficznej.

Słowa kluczowe: termografia, próżniowe nanoszenie cienkich warstw, PVD, cienkie warstwy elektroprzewodzące.

wstecz