Numer: 12/2015 Str. 228
Autorzy: A.D. Pogrebnjak , O.V. Bondar , N.K. Erdybaeva , S.V. Plotnikov , P.V. Turbin , S.S. Grankin , V.A. Stolbovoy , O.V. Sobol , D.A. Kolesnikov , C. Kozak :
Tytuł: Wpływ wygrzewania oraz warunków osadzania na strukturę oraz fizyko-mechaniczne właściwości nanowymiarowych wielowarstwowych powłok TiN/ZrN
Streszczenie: Nanostrukturalne wielowarstwowe powłoki TiN/ZrN otrzymano używając metody próżniowo-łukowego osadzania. Ilość warstw wynosiła 134-533; średnia grubość dwuwarstwowa wynosiła 20-125 nm zależnie od warunków osadzania. Zaobserwowano dobrą planarność podwójnych warstw w nanoskali. Określono prawidłowości zmian struktury fazowej w warstwach powierzchniowych pod wpływem agresywnej atmosfery utleniającej oraz wysokiej temperatury (700 0С) wygrzewania jako model krytycznych warunków pracy. Zbadano wpływ grubości podwójnych warstw na twardość. Maksymalna twardość wynosiła 42 GPa.
Słowa kluczowe: łukowo-próżniowe osadzanie, powłoki wielowarstwowe TiN/ZrN, struktura powierzchni warstw, właściwości mechaniczne.