Numer: 12/2014 Str. 233
Autorzy: Ewa Korzeniewska , Adam Jakubas :
Tytuł: Pomiar rezystancji powierzchniowej warstw cienkich o dowolnych kształtach wytworzonych na podłożach elastycznych
Streszczenie: W artykule zaprezentowano metody pomiarów rezystancji powierzchniowej elektrod cienkowarstwowych wytworzonych na podłożach tekstylnych z wykorzystaniem technologii osadzania próżniowego PVD. Przeanalizowano adekwatność wykorzystania metod pomiaru w zależności od różnych kształtów elektrod.
Słowa kluczowe: rezystancja powierzchniowa, próżniowe nanoszenie cienkich warstw, elektrody pomiarowe, metoda Van der Pauwa.
Numer DOI: 10.12915/pe.2014.12.58