Numer: 12/2014 Str. 109
Autorzy: Lech Borowik , Adam Jakubas :
Tytuł: Modelowanie czteroelektrodowego systemu pomiarowego do wyznaczania rezystancji cienkich powłok antyelektrostatycznych.
Streszczenie: W artykule opisano model matematyczny do wyznaczania rezystancji cienkich warstw antyelektrostatycznych. Model opiera się na metodach czteropunktowej oraz odbić zwierciadlanych. Wyznaczony limit rozmiaru układu - odstępu pomiędzy elektrodami pomiarowymi - uzależniony jest od grubości warstwy i stosunku rezystywności warstwy/podłoże.
Słowa kluczowe: antyelektrostatyczność, modelowanie, rezystancja elektryczna, powłoki antyelektrostatyczne
Numer DOI: 10.12915/pe.2014.12.25