Numer: 11/2014 Str. 142
Autorzy: Michał Zaborowski , Dariusz Szmigiel , Piotr Grabiec :
Tytuł: Rozwój technologii REFETów z przeznaczeniem do pomiaru pH
Streszczenie: W pracy przedstawiono dotychczasowy rozwój technologii REFETów. Opisano wytwarzanie REFETa metodą utleniania plazmowego warstwy azotkowej. Zaprezentowano układ pomiarowy wtórnika źródłowego i obudowy przepływowe. Podano wyniki kwalifikacji kwazi-REFETów i różnicowych pomiarów pH. Zaproponowano zastosowanie przyrządu wraz z pseudoreferencyjną elektrodą Pt do pomiarów w rozcieńczonym HCl.
Słowa kluczowe: REFET, ISFET, elektroda referencyjna.
Numer DOI: 10.12915/pe.2014.11.39