Przegląd Elektrotechniczny

Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page



Numer: 11/2014 Str. 142

Autorzy: Michał Zaborowski , Dariusz Szmigiel , Piotr Grabiec :

Tytuł: Rozwój technologii REFETów z przeznaczeniem do pomiaru pH

Streszczenie: W pracy przedstawiono dotychczasowy rozwój technologii REFETów. Opisano wytwarzanie REFETa metodą utleniania plazmowego warstwy azotkowej. Zaprezentowano układ pomiarowy wtórnika źródłowego i obudowy przepływowe. Podano wyniki kwalifikacji kwazi-REFETów i różnicowych pomiarów pH. Zaproponowano zastosowanie przyrządu wraz z pseudoreferencyjną elektrodą Pt do pomiarów w rozcieńczonym HCl.

Słowa kluczowe: REFET, ISFET, elektroda referencyjna.

Numer DOI: 10.12915/pe.2014.11.39

wstecz