No/VOL: 11/2014 Page no. 127
Authors: Katarzyna Sareło , Anna Górecka-Drzazga , Jan Dziuban :
Title: Metoda detekcji optycznej przeznaczona dla membranowych krzemowych czujników ciśnienia typu MEMS
Abstract: W pracy przedstawiono nową metodę optycznej detekcji opracowaną dla czujników ciśnienia typu MEMS. Wykonany technikami mikroinżynieryjnymi mikrosystem może być zastosowany do pomiaru ciśnienia w warunkach silnego pola elektromagnetycznego, wysokiej temperatury i silnego promieniowania jonizującego. Wstępne testy czujnika ciśnienia zintegrowanego z elementami systemu optycznej detekcji dały pozytywne wyniki.
Key words: detekcja optyczna, czujnik ciśnienia, MEMS.
DOI number: 10.12915/pe.2014.11.35