Numer: 11/2014 Str. 127
Autorzy: Katarzyna Sareło , Anna Górecka-Drzazga , Jan Dziuban :
Tytuł: Metoda detekcji optycznej przeznaczona dla membranowych krzemowych czujników ciśnienia typu MEMS
Streszczenie: W pracy przedstawiono nową metodę optycznej detekcji opracowaną dla czujników ciśnienia typu MEMS. Wykonany technikami mikroinżynieryjnymi mikrosystem może być zastosowany do pomiaru ciśnienia w warunkach silnego pola elektromagnetycznego, wysokiej temperatury i silnego promieniowania jonizującego. Wstępne testy czujnika ciśnienia zintegrowanego z elementami systemu optycznej detekcji dały pozytywne wyniki.
Słowa kluczowe: detekcja optyczna, czujnik ciśnienia, MEMS.
Numer DOI: 10.12915/pe.2014.11.35