No/VOL: 11/2014 Page no. 116
Authors: Michał Krysztof , Tomasz Grzebyk , Anna Górecka-Drzazga , Jan Dziuban :
Title: Miniaturowy mikroskop elektronowy – koncepcje i możliwości technologiczne
Abstract: W artykule przeanalizowano różne próby miniaturyzacji mikroskopów elektronowych lub ich elementów opublikowane w literaturze. Przedstawiono nową koncepcję miniaturyzacji mikroskopu transmisyjnego wytworzonego całkowicie metodami mikroinżynierii krzemu i szkła z wykorzystaniem nowoopracowanej mikropompy wysokiej próżni. Opisano problemy technologiczne, które muszą być rozwiązane, aby mógł powstać mikrosystemowy mikroskop elektronowy.
Key words: miniaturyzacja, mikroskopia elektronowa, mikropompa, MEMS.
DOI number: 10.12915/pe.2014.11.32