Numer: 11/2014 Str. 108
Autorzy: Anna Górecka-Drzazga :
Tytuł: Miniaturowe źródła promieniowania rentgenowskiego
Streszczenie: W artykule przedstawiono przegląd literaturowy na temat konstrukcji i technologii różnego typu miniaturowych lamp rentgenowskich. Opisano przykłady źródeł rentgenowskich wykorzystujących efekt piroelektryczny oraz źródeł z termiczną i polową wyrzutnią elektronów. Artykuł zakończono prezentacją koncepcji zintegrowanej lampy rentgenowskiej on-chip, wytworzonej metodami mikroinżynierii. W konstrukcji wykorzystano miniaturowe polowe źródło elektronów z katodą z nanorurek węglowych oraz ostatnio opracowaną mikropompę wysokiej próżni.
Słowa kluczowe: miniaturowa lampa X, MEMS, emisja polowa, mikroinżynieria.
Numer DOI: 10.12915/pe.2014.11.30