No/VOL: 08/2014 Page no. 209
Authors: Michał Pawłowski , Marek Pawłowski , Marek Suproniuk :
Title: Aparaturowe ograniczenia pomiaru kinetyki pojemności w metodzie DLTS
Abstract: W pracy przedstawiono metodę niestacjonarnej spektroskopii pojemnościowej DLTS stosowaną do badania centrów defektowych w materiałach półprzewodnikowych niskorezystywnych. Wskazano ograniczenia procesu pomiaru niestacjonarnych przebiegów pojemności próbki przy zastosowaniu w systemie pomiarowym typowych, fabrycznych mierników pojemności na przykładzie miernika Boonton 7200. Zaproponowano dodatkową głowicę do miernika umożliwiającą wykonanie pomiarów w szerokim zakresie czasów pobudzeń próbki, do zakresu submikrosekundowego włącznie. Przedstawiono procedurę korekcji nieliniowości wprowadzanych przez ten układ.
Key words: niestacjonarna spektroskopia pojemnościowa, DLTS, centra defektowe, pomiary pojemności.
DOI number: 10.12915/pe.2014.08.49