Numer: 10b/2012 Str. 117
Autorzy: Jacek Gołębiowski , Bartłomiej Guzowski , Szymon Milcarz :
Tytuł: Zastosowanie światłowodowych czujników odbiciowych do pomiaru przemieszczeń w ruchomych strukturach MEMS
Streszczenie: Pokazano konstrukcję natężeniowego światłowodowego czujnika odbiciowego do pomiaru przemieszczeń w ruchomych strukturach MEMS. Przedstawiono system pomiarowy oraz wyniki pomiarów. Analizowano wpływ konstrukcji i parametrów czujnika oraz układu pomiarowego na charakterystyki wyjściowe ze szczególnym uwzględnieniem zmian współczynnika odbicia.
Słowa kluczowe: czujniki światłowodowe odbiciowe, pomiar przemieszczeń, układy optoelektroniczne, MEMS