Numer: 10b/2012 Str. 64
Autorzy: Grzegorz Małozięć , Konrad Nieradka , Daniel Kopiec , Yvonne Ritz , Ehrenfried Zschech , Teodor Gotszalk :
Tytuł: Układ do pomiaru charakterystyk rezonansowych mikroprzetworników wysokoczęstotliwościowych
Streszczenie: W niniejszym artykule opisany został układ do pomiaru charakterystyk rezonansowych dźwigni krzemowych. Omówiona została metoda uzyskiwania mikrodźwigni sprężystych. Opisana została budowa specjalizowanego układu optycznego do detekcji ugięcia mikrobelek oraz zasada detekcji ugięcia Przedstawiona została również nowa metoda pomiarowa, polegająca na wykorzystaniu modulowanej wiązki światła do pomiaru parametrów przetworników o wysokich częstotliwościach rezonansowych.
Słowa kluczowe: mikrodźwignia, mieszacz częstotliwości, modulacja, laser.