Numer: 09a/2011 Str. 56
Autorzy: Jacek Gołębiowski , Roman Gozdur , Andrzej Majocha :
Tytuł: Mikromechaniczny krzemowy przetwornik pola magnetycznego
Streszczenie: Przedstawiono mikromechaniczny system do pomiaru indukcji pola magnetycznego. W systemie zastosowano mikrobelkę krzemową z warstwą ferromagnetyczną. Analizowano wpływ parametrów belki oraz oddziaływanie zewnętrznego pola magnetycznego na kąt ugięcia belki. Zaprezentowano układ optoelektroniczny do pomiaru ugięcia belki.
Słowa kluczowe: MEMS, system pomiarowy, pomiar indukcji magnetycznej, układy optoelektroniczne