No/VOL: 11b/2010 Page no. 130
Authors: Jan Ziaja , Witold Bretuj , Janusz Szafran , Krzysztof Kucharczyk :
Title: Właściwości dielektryczne warstw węglowych na włókninie polipropylenowej
Abstract: W pracy opisano otrzymywanie cienkich warstw węglowych metodą impulsowego rozpylania magnetronowego oraz polimeryzacji plazmowej. Układy zasilano prądem zmiennym jednokierunkowym DC-M o częstotliwości 160 kHz i prądem przemiennym AC-M o częstotliwości 80 kHz. Przedstawiono wyniki badania rezystywności powierzchniowej w zależności od wybranych parametrów procesu rozpylania magnetronowego.
Key words: pole elektromagnetyczne, skuteczność ekranowania, rozpylanie magnetronowe, cienkie warstwy.