Numer: 11a/2010 Str. 211
Autorzy: Robert Barbucha , Marek Kocik , Jerzy Mizeraczyk , Michał Janke , Katarzyna Garasz , Mateusz Tański :
Tytuł: Zastosowanie nanosekundowej mikroobróbki laserowej do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS
Streszczenie: W niniejszym artykule omówiono zastosowanie mikroobróbki laserowej impulsami nanosekundowymi do wykonywania metalowych elementów urządzeń MEMS (microelectromechanical systems). Omówiono ogólnie nanosekundową mikroobróbkę laserową materiałów metalowych oraz przedstawiono przykłady elementów urządzeń MEMS wykonanych tą techniką. Przedstawiono także problem degradacji obrabianego materiału podczas nanosekundowej mikroobróbki laserowej. Rozwiązaniem tego problemu może być zastosowanie do mikroobróbki laserowych impulsów femtosekundowych.
Słowa kluczowe: mikroobróbka laserowa, mikrosystemy, obróbka precyzyjna, ablacja laserowa, MEMS