Numer: 10/2010 Str. 36
Autorzy: Piotr Grabiec , Mirosław Woszczyna , Paweł Zawierucha , Teodor Gotszalk , Grzegorz Jóźwiak , Daniel Kopiec , Michał Zielony :
Tytuł: Analiza szumów w mikro-mechanicznych czujnikach rezonansowych
Streszczenie: Mikromechaniczne czujniki rezonansowe są stosowane do pomiaru małej siły, masy i lepkości. Po odpowiedniej funkcjonalizacji powierzchni mogą być wykorzystywane jako czujniki biochemiczne do detekcji oddziaływań molekularnych. Występujący w tych układach szum jest najważniejszym czynnikiem ograniczającym czułość na zmiany mierzonej wielkości i rozdzielczość pomiaru. Szczególne znaczenie ma szum mechanicznych drgań termicznych, który może pełnić również istotną rolę w procesie pomiaru właściwości mechanicznych układu. W pracy przedstawiono modele matematyczne wybranych szumów występujących w układach rezonansowych, zwracając szczególną uwagę na szum termicznych drgań mechanicznych. Zaprezentowano układ pomiarowy do badania szumów mikrobelek sprężystych z piezorezystywnym detektorem ugięcia. Układ ten wykorzystano do pomiaru mechanicznych właściwości drgań termicznych mikrobelki wykonanej w Instytucie Technologii Elektronowej w Warszawie.
Słowa kluczowe: czujniki mikromechaniczne, analiza szumów, modelowanie układów.