Numer: 10/2010 Str. 17
Autorzy: Piotr Grabiec , Paweł Janus , Anna Baraniecka , Dariusz Szmigiel , Krzysztof Domański , Magdalena Ekwińska , Piotr Prokaryn , Andrzej Sierakowski , Michał Zaborowski :
Tytuł: Modelowanie i wytwarzanie mikrosystemów dla zastosowań w chemii i diagnostyce biomedycznej
Streszczenie: W artykule przedstawiono procesy technologiczne mikroinżynierii krzemowej wykorzystane do wytwarzania przyrządów opracowywanych w ramach projektu MNS-DIAG. Kluczowymi procesami dla wytwarzania opracowywanych w ramach tego projektu demonstratorów są: głębokie plazmowe trawienie podłoża krzemowego, procesy łączenia płytek podłożowych z innymi płytkami krzemowymi, ceramicznymi lub szklanymi, procesy elektrochemicznego osadzania metali szlachetnych oraz procesy nakładania i kształtowania warstw polimerowych.
Słowa kluczowe: MEMS, mikrosystemy, technologia krzemowa.