Numer: 07/2010 Str. 281
Autorzy: Andrzej Kociubiński , Mariusz Duk , Tomasz Bieniek , Paweł Janus :
Tytuł: Modelowanie 3-wymiarowe anizotropowego trawienia krzemu
Streszczenie: W artykule zostały przedstawione metody optymalizacji parametrów w programie Etch3D oraz wyniki symulacji trawienia krzemu w KOH w porównaniu ze strukturami próbnymi. Celem niniejszych badań była kalibracja parametrów symulatora do warunków procesów przeprowadzanych w ITE. Do analizy wpływu parametrów funkcji RPF (ang. Remove Probability Function) na parametry wyjściowe, zastosowano metodę Taguchiego. Pozwoliło to na optymalizację wyników symulacji do rzeczywistych procesów trawienia przeprowadzanych w ITE.
Słowa kluczowe: KOH, modelowanie, symulacja, trawienie mokre.