Numer: 07/2010 Str. 29
Autorzy: Andrzej Misiuk , Wojciech Jung , Marek Prujszczyk , Jadwiga Bak-Misiuk , Jan Felba :
Tytuł: Ujawnienie historii radiacyjnej napromieniowanego elektronami krzemu otrzymanego metodą Czochralskiego poprzez po-radiacyjną obróbkę termiczną
Streszczenie: Domieszkowany borem krzem otrzymany metodą Czochralskiego (Cz-Si), o orientacji (001) i o koncentracji domieszki tlenowej ok. 9x1017 cm-3, został napromieniowany elektronami o energii 40 keV i dawkach do 2.5x1016 cm-2. W wyniku wygrzewania w temperaturze do 1400 K, także pod wysokim ciśnieniem (do 1,2 GPa) argonu, ulega wydatnej zmianie koncentracja elektronów przewodnictwa oraz struktura defektowa Cz-Si. Podano wyjaśnienie tego zjawiska i zaproponowano jego wykorzystanie do ujawnienia napromieniowania krzemu elektronami.
Słowa kluczowe: Cz-Si, napromieniowanie, elektron, obróbka wysokotemperaturowo-ciśnieniowa.