No/VOL: 07/2010 Page no. 26
Authors: Czesław Karwat , Arkady Chaplanov , Maria Markevich , Viaczeslaw Stelmakh , Yuri Yemelianenko , Victor Kolos :
Title: Wpływ szybkiego wygrzewania termicznego na strukturę TiN/Ti/Si
Abstract: Przeprowadzono badania transformacji strukturalno-fazowych, jakie występują w układzie TiN/Ti/Si podczas obróbki impulsowofotonowej światłem niespójnym przy użyciu metody elektronowej mikroskopii transmisyjnej (TEM). Badano również właściwości elektryczne i optyczne C49 TiSi2.
Key words: Struktura, gęstość, RTA, TiSi2.