Przegląd Elektrotechniczny

Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page



Numer: 07/2010 Str. 26

Autorzy: Czesław Karwat , Arkady Chaplanov , Maria Markevich , Viaczeslaw Stelmakh , Yuri Yemelianenko , Victor Kolos :

Tytuł: Wpływ szybkiego wygrzewania termicznego na strukturę TiN/Ti/Si

Streszczenie: Przeprowadzono badania transformacji strukturalno-fazowych, jakie występują w układzie TiN/Ti/Si podczas obróbki impulsowofotonowej światłem niespójnym przy użyciu metody elektronowej mikroskopii transmisyjnej (TEM). Badano również właściwości elektryczne i optyczne C49 TiSi2.

Słowa kluczowe: Struktura, gęstość, RTA, TiSi2.

wstecz