Numer: 11/2009 Str. 93-98
Autorzy: Marek Suproniuk , Michał Pawłowski , Paweł Kamiński , Roman Kozłowski , Marcin Miczuga , Christophe Longeaud , Jean-Paul Kleider :
Tytuł: Inteligentny system diagnostyczny do badania półprzewodników wysokorezystywnych metodą niestacjonarnej spektroskopii fotoprądowej PITS
Streszczenie: Przedstawiono koncepcję inteligentnego systemu pomiarowego do diagnozowania wysokorezystywnych materiałów półprzewodnikowych metodą niestacjonarnej spektroskopii fotoprądowej. Zadaniem tego systemu będzie tworzenie obrazu struktury defektowej obejmującego informację o parametrach i koncentracjach zaobserwowanych centrów defektowych.
Słowa kluczowe: system diagnostyczny, niestacjonarna spektroskopia fotoprądowa, centra defektowe, materiały półizolujące