No/VOL: 09/2009 Page no. 279-286
Authors: Michał Szermer , Andrzej Napieralski , Krzysztof Szaniawski , Michał Olszacki , Cezary Maj :
Title: Aktuatory i sensory w technologii MEMS jako mikroelektromaszynowe elementy mechatroniki
Abstract: W artykule przedstawiono wybrane projekty mikromaszyn i mikrosystemów krzemowych zaprojektowanych w DMCS i wykonanych w technologiach MEMS. Należą do nich: mikrosilnik, mikropompa i mikrozwierciadło krzemowe, czujniki promieniowania podczerwonego, przetworniki elektrotermiczne, czujniki przepływu gazu, czujniki przyśpieszenia, punktowe źródła światła, tranzystory ISFET i CHEMFET a także różne warianty mikromaszynowych czujników przyśpieszenia oraz pomiaru ciśnienia wewnątrzczaszkowego.
Key words: Mikromaszyny i mikrosystemy krzemowe, mikroelektronika, czujniki ISFET i CHEMFET