Numer: 04/2009 Str. 178-181

Autorzy: Leszek Szczepaniak :

Tytuł: Pomiar ciśnienia wysokiej próżni z wykorzystaniem impulsowej jonizacji gazu strumieniem elektronów

Streszczenie: Przy pomiarach wysokiej próżni wykorzystywana jest metoda jonizacyjna. Zastosowanie impulsowej jonizacji gazu umożliwia znaczącą redukcję wpływu termicznej desorpcji na wartość mierzonego ciśnienia. Daje to zmniejszenie błędu metody oraz redukcję mocy grzewczej dostarczanej do katody.

Słowa kluczowe: przyrządy próżniowe, jonizacja impulsowa, wysoka próżnia

wstecz