Numer: 05/2006 Str. 68-71
Autorzy: Maria Dems , Krzysztof Komęza , Sławomir Wiak , Krzysztof Smółka :
Tytuł: Modelowanie bryłowe trójwymiarowych struktur inteligentnych akcelerometrów o budowie grzebieniowej ze szczególnym uwzględnieniem problemów mechanicznych
Streszczenie: Artykuł dotyczy numerycznego modelowania trójwymiarowych struktur akcelerometrów MEMS. Przedstawiono założenia do budowy modelu mechanicznego dla różnych struktur akcelerometrów ze szczególnym uwzględnieniem ich sprężystości.
Słowa kluczowe: IMEMS – Inteligentne Mikro-Elektro-Mechaniczne-Systemy, akcelerometr, modelowanie polowe, modelowanie bryłowe