Numer: 05/2008 Str. 345-348
Autorzy: Łukasz Oskwarek , Mariusz Płuska :
Tytuł: Metoda określenia wpływu zewnętrznego pola magnetycznego na wiązkę elektronów oraz na obwody elektryczne w skaningowym mikroskopie elektronowym
Streszczenie: Deformacja obrazu struktury badanego obiektu spowodowana oddziaływaniem zewnętrznego pola zakłócającego jest jednym z najczęściej spotykanych niepożądanych efektów w skaningowej mikroskopii elektronowej. Tematyka artykułu odnosi się oceny wpływu pól elektromagnetycznych na wyniki obrazowania z równoczesnym określeniem sposobu separacji wpływu tegoż pola na bieg wiązki w kolumnie i komorze mikroskopu elektronowego oraz na obwody elektryczne mikroskopu.
Słowa kluczowe: skaningowy mikroskop elektronowy, zniekształcenia obrazu mikroskopowego, zakłócenia elektromagnetyczne