No/VOL: 05/2008 Page no. 265-268
Authors: Joanna Ćwirko , Robert Ćwirko :
Title: Adaptacyjny system badawczy materiałów i przyrządów półprzewodnikowych
Abstract: W artykule przedstawiono wielometodowy, adaptacyjny system pomiarowy przeznaczony do charakteryzacji elektrycznych i fotoelektrycznych parametrów materiałów i przyrządów półprzewodnikowych. W systemie jest możliwość współbieżnego pomiaru parametrów półprzewodników przy użyciu różnych metod. System wykorzystuje w pomiarach metody: niestacjonarnej spektroskopii fotoprądowej PITS, modulowanego fotoprądu MPC, niskoczęstotliwościowej spektroskopii szumowej MPC i niestacjonarnej spektroskopii pojemnościowej DLTS.
Key words: pomiary półprzewodników, głębokie centra defektowe, MPC, PITS, DLTS, LFNS, wielometodowy system pomiarowy