Numer: 07/2024 Str. 243
Autorzy: Yasmina Belaroussi , Abdelhalim Saadi , Abdelkader Taibi , Djabar Maafri , Boumediene Zatout , Nicolas Corrao :
Tytuł: Wysokowydajne porowate podłoże krzemowe do integracji urządzeń pasywnych wykorzystujących fale milimetrowe
Streszczenie: W tym liście wydajność porowatego podłoża krzemowego (PSi) przeznaczonego do scalonych układów pasywnych fal milimetrowych jest obliczona poprzez zintegrowanie filtru środkowoprzepustowego fal milimetrowych (MBPF) wyśrodkowanego na 60 GHz. PSi jest wytwarzany przez elektroporyzację, zaczynając od taniego standardowego podłoża Si o rezystywności standardowej (1-10 Ω.cm). Poza przydatnością do pasywnej integracji obwodów fal milimetrowych, ten PSi jest kompatybilny z procesem CMOS, zwłaszcza gdy rozważana jest technika miejscowej porowatości. W porównaniu z konwencjonalnym MBPF zaimplementowanym na standardowym (Std) podłożu Si, projekt MBPF na PSi wykazuje interesującą wydajność, dzięki wysokiej rezystywności podłoża PSi, co prowadzi do zmniejszenia szkodliwych skutków podłoża.
Słowa kluczowe: Filtr pasmowoprzepustowy (BPF), falowód współpłaszczyznowy (CPW), fala milimetrowa, krzem porowat