Numer: 03/2008 Str. 174-177
Autorzy: Janusz Partyka , Valery Luhin , Ivan Zharskij , Pavel Zhukovski :
Tytuł: Badania możliwości wykorzystania siły termoelektrycznej generowanej w cienkich warstwach półprzewodnikowych tlenków metali do wytwarzania czujników gazów
Streszczenie: Zbadano możliwości wykorzystania siły termoelektrycznej generowanej w cienkich warstwach półprzewodnikowych tlenków metali do wytwarzania czujników gazów. Zasada detekcji oparta na zależności termo SEM przy stałym gradiencie temperatury od jakościowego i ilościowego składu gazu.
Słowa kluczowe: czujniki gazów, termo SEM, cienkie warstwy