No/VOL: 03/2008 Page no. 200-203
Authors: Victor Lozbin , Jacek Majewski :
Title: Właściwości metrologiczne piezorezystorów grubowarstwowych stosowanych w miniaturowych sensorach ciśnienia
Abstract: W artykule przeanalizowano wybrane właściwości metrologiczne piezorezystorów grubowarstwowych – o kształcie wycinka pierścienia kołowego lub o kształcie prostokąta - stosowanych w miniaturowych sensorach ciśnienia o membranie kołowej. Podano wzory opisujące rezystancję piezorezystorów w stanie nieobciążonym oraz poddanych odkształceniom dla różnych ich położeń na powierzchni membrany.
Key words: piezorezystory grubowarstwowe, miniaturowe czujniki ciśnienia, właściwości metrologiczne