Numer: 03/2008 Str. 200-203
Autorzy: Victor Lozbin , Jacek Majewski :
Tytuł: Właściwości metrologiczne piezorezystorów grubowarstwowych stosowanych w miniaturowych sensorach ciśnienia
Streszczenie: W artykule przeanalizowano wybrane właściwości metrologiczne piezorezystorów grubowarstwowych – o kształcie wycinka pierścienia kołowego lub o kształcie prostokąta - stosowanych w miniaturowych sensorach ciśnienia o membranie kołowej. Podano wzory opisujące rezystancję piezorezystorów w stanie nieobciążonym oraz poddanych odkształceniom dla różnych ich położeń na powierzchni membrany.
Słowa kluczowe: piezorezystory grubowarstwowe, miniaturowe czujniki ciśnienia, właściwości metrologiczne