No/VOL: 09/2022 Page no.
Authors: Sławomir Krawczyk , Elżbieta Czerwosz , Halina Wronka , Piotr Firek , Mariusz Sochacki , Jan Szmidt :
Title: Porównanie możliwości detekcji wodoru przez tranzystor polowy z bramką C‐nPd oraz warstwę rezystancyjną C‐nPd)
Abstract: W wyniku realizacji projektu POIG (UDA-POIG.01.03.01-14-071/08-00) realizowanego w latach 2009-2015 . Sieć Badawcza Łukasiewicz Instytut Tele- i Radiotechniczny oraz Politechnika Warszawską opracowały oporowe sensory wodoru wykorzystujący zmiany rezystancji nanokompozytowych warstw węglowo-palladowych (C-nPd) otrzymywanych metodą PVD, a następnie sensory tranzystorowe (FET) z bramką wykonaną z opracowanej wcześniej nanokompozytowej warstwy C-nPd. W tym artykule zostały pokazane różnice we właściwościach sensorycznych i ich reakcjach na wodór dla obu typów sensorów tranzystorowego i oporowego w postaci warstwy C-nPd osadzonej na podłożu ceramicznym. Dla obu typów sensorów badania sensorowe były prowadzone na specjalnie do tego celu zbudowanym stanowisku badawczym.
Key words: sensory wodoru, cienkie warstwy, pomiary rezystancji, warstwy C-nPd .