No/VOL: 09/2022 Page no. 251
Authors: Janusz Rybak , Konstanty Marszałek :
Title: Depozycja oraz badanie właściwości optycznych warstw WO3 do zastosowań w urządzeniach elektrochromowych
Abstract: Cienkie warstwy tlenku wolframu WO3 są jednymi z najszerzej stosowanych warstw o właściwościach elektrochromowych. Do ich wytwarzania stosowane są różne metody osadzania, w tym rozpylanie magnetronowe. W niniejszej pracy autorzy przedstawiają budowę wysokopróżniowego systemu firmy Lesker do rozpylania magnetronowego GLAD oraz wyniki badań właściwości optycznych cienkich warstw WO3, które mogą być stosowane w wielowarstwowych układach elektrochromowych..
Key words: elektrochromizm, warstwy tleneku wolframu, rozpylanie magnetronowe, właściwości optyczne