Numer: 02/2022 Str. 144
Autorzy: Jacek Boguski , Jakub Józwowicz , Małgorzata Nyga , Sebastian Złotnik , Jarosław Wróbel :
Tytuł: Badanie wpływu wybranych parametrów cyklicznego procesu mokrego trawienia chemicznego epitaksjalnych warstw InAs
Streszczenie: W niniejszym artykule poświęcono uwagę procesowi mokrego trawienia chemicznego warstw epitaksjalnych InAs. Do procesu wprowadzono modyfikację, polegającą na wykonaniu trawienia w sposób cykliczny, przy założonych całkowitych czasach procesu. Zbadano wpływ ilości cykli w procesie mokrego trawienia chemicznego na głębokość trawienia oraz chropowatość strawionej warstwy.
Słowa kluczowe: mokre trawienie chemiczne, głębokość trawienia, chropowatość, warstwa epitaksjalna InAs.