Numer: 11/2007 Str. 235-239
Autorzy: Jan Ziaja :
Tytuł: Otrzymywanie cienkich warstw ZnO metodą impulsowego rozpylania magnetronowego
Streszczenie: W prezentowanej pracy przedstawiono otrzymywanie cienkich warstw ZnO metodą impulsowego rozpylania magnetronowego. Wykazano, że szybkości rozpylania targetów metalicznych w argonie jest większa dla metody DC-M. Natomiast rozpylanie reaktywne lub targetów tlenkowych należy stosować metodę AC-M. Uzyskane wartości szybkości osadzania warstw są porównywalne do wartości uzyskanymi innymi metodami np. RF, DC. Otrzymane warstwy Zn-Bi-O charakteryzowały się efektem warystorowym.
Słowa kluczowe: ZnO, rozpylanie magnetronowe, właściwości elektryczne, warystor