Numer: 11/2007 Str. 47-49
Autorzy: Michael Greiff , Uzzal Binit Bala , Wolfgang Mathis , Matthias Maischak , Ernst Stephan :
Tytuł: Obliczenia numeryczne pól elektrycznych z uwzględnieniem osobliwości w mikroukładach elektro-mechanicznych, MEMS
Streszczenie: Obliczenia pól elektrycznych odgrywają ważną rolę w symulacjach systemów elektro-mechanicznych, MEMS. W wielu przypadkach istnieje potrzeba obliczenia pola elektrycznego blisko narożników obiektu. W artykule przedstawiono zastosowanie rozszerzonej metody elementów skończonych do obliczania sił elektrostatycznych w mikroskopie EFM.
Słowa kluczowe: mikroukłady elektro-mechaniczne, elektrostatyka, osobliwości, MES