Numer: 10/2019 Str. 146
Autorzy: Wojciech Macherzyński , Piotr Buba , Piotr Pokryszka , Grzegorz Ilgiewicz , Regina Paszkiewicz :
Tytuł: Pogrubiania elektrochemiczne złotem cienkich warstw metalicznych
Streszczenie: W artykule omówiono projekt układu zasilania w stanowisku do pogrubiania elektrochemicznego złotem cienkich warstw metalicznych. Pogrubianie cienkich warstw metalicznych w technologii półprzewodnikowej jest ważnym etapem w procesie wytwarzania przyrządów półprzewodnikowych. Umożliwia ono wykonanie poprawnych połączeń drutowych w procesie termo- i/lub ultra-kompresji oraz zapewnia zmniejszenie rezystancji powierzchniowej, która jest istotna w celu zapewnienia poprawnej pracy przyrządów wytwarzanych w AIIIN.
Słowa kluczowe: pogrubianie elektrochemiczne, przyrządy półprzewodnikowe, złącza omowe, złącza prostujące.