Numer: 05/2018 Str. 196
Autorzy: Valentina Gorushko , Anna Omelchenko , Vladimir Pilipenko , Vitali Solodukha , Marek Opielak , Paweł Żukowski , Tomasz Koltunowicz :
Tytuł: Rekrystalizacja krzemu podczas szybkiej obróbki termicznej
Streszczenie: Dzięki użyciu spektroskopii Augera, elipsometrii spektralnej oraz dyfrakcji rentgenowskiej po raz pierwszy przedstawiona została możliwość zastosowania szybkiego termicznego usuwania uszkodzonej warstwy na powierzchni roboczej wafli silikonowych, powstałych po chemiczno-mechanicznym polerowaniu, za pośrednictwem jego rekrystalizacji w fazie stałej.
Słowa kluczowe: uszkodzona warstwa, szybka obróbka termiczna, rekrystalizacja, wafel krzemowy.