Numer: 2k/2007 Str. 157-160
Autorzy: Anatoly Belous , Anthon Emelyanov , Valentine Syakersky , Ryhor Chyhir :
Tytuł: Model do przewidywania niezawodności mikroukładów na podstawie wyników testów jakościowych
Streszczenie: Zaproponowano model pozwalający prognozować wydajność iniezawodność procesów wytwórczych mikroukładów (IC) oraz system testów kontroli jakości procesów technologicznych IC. Zapenia on wiarygodne różnice wyników kontroli parametrów testowanych struktur ukladów IC. Pozwala wykonać kompleksowe oszacowanie jakości poszczególnych technologicznych operacji produkcji mikroukładów. Pozwala wykonywać opymalizacje procesów technologicznych oraz prognozować wydajność produkcji mikroukładów.
Słowa kluczowe: mikroelektronika, struktury testowe, wysoki procent wydajności miroukładów, procesy optymalizacji