No/VOL: 08/2017 Page no. 92
Authors: Łukasz Chrobak , Mirosław Maliński :
Title: Obrazowanie obszarów implantowanych w materiałach półprzewodnikowych z wykorzystaniem nieniszczącej techniki radiometrii w podczerwieni
Abstract: W artykule przedstawione zostały zagadnienia dotyczące możliwości wykorzystania nieniszczącej techniki radiometrii w podczerwieni PTR (PhotoThermal Radiometry) do wizualizacji obszarów implantowanych w krzemie. Przedstawiony został szczegółowy opis zrealizowanego stanowiska eksperymentalnego. Zaprezentowano przykładowe wyniki badań, w formie mapy, rozkładu oraz przekroju amplitudy i fazy sygnału PTR, uzyskanych dla zbadanej implantowanej próbki krzemowej.
Key words: badania nieniszczące, radiometria w podczerwieni, krzem, parametry rekombinacyjne, czas życia nośników, implantacja jonowa, obrazowanie