No/VOL: 08/2017 Page no. 89
Authors: Valery Gremenok , Kotte Reddy , Mikhail Tivanov , Aleksy Patryn :
Title: Wpływ obróbki temperaturowej na termicznie naparowane cienkie warstwy In2S3
Abstract: Przedstawiono wyniki badania struktury cienkich warstw In2S3 naniesionych metodą termicznego osadzenia na szkło w próżni w temperaturach od 240oC i kolejnym wygrzewaniem w temperaturach 330oC i 400oC. Ustalono że warstwy miały amorficzną naturę przed wygrzewaniem, po wygrzewaniu wykazywały strukturę polikrystaliczną typu β-In2S3. Rozmiar ziaren powiększał się na skutek aktywnej nuklearyzacji i to przyczyniało się do zwykłej krystalizacji ze wzrostem temperatury. Zmiany zostały przeanalizowane za pomocą AFM.
Key words: In2S3, cienkie warstwy, XRD widma, Raman widma, AFM obraz powierzchni