No/VOL: 05/2017 Page no. 24
Authors: Elhadj Habel , Benyssaad Kraloua , Ali Hennad :
Title: Dwuwymiarowe modelowanie wyładowania jarzeniowego RF przy niskim ciśnieniu
Abstract: W artykule analizowane jest numerycznie wyładowanie jarzeniowe RF przy niskim ciśnieniu. Wykorztano model Płynu Dwuwymiarowego oparty na pierwszych trzech momentach w rówananiu Boltzmanna, w połączeniu z równania Poissona. Ten układ równań opisana we współrzędnych walcowych w reaktorze plazmowym. Określono główne parametry gęstości elektronowej, gęstości jonowej, potencjał elektryczny, pole elektryczne.
Key words: wyładowanie jarzeniowe RF, model cieczy, metoda dzielenie czasu