Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page

Numer: 05/2017 Str. 24

Autorzy: Elhadj Habel , Benyssaad Kraloua , Ali Hennad :

Tytuł: Dwuwymiarowe modelowanie wyładowania jarzeniowego RF przy niskim ciśnieniu

Streszczenie: W artykule analizowane jest numerycznie wyładowanie jarzeniowe RF przy niskim ciśnieniu. Wykorztano model Płynu Dwuwymiarowego oparty na pierwszych trzech momentach w rówananiu Boltzmanna, w połączeniu z równania Poissona. Ten układ równań opisana we współrzędnych walcowych w reaktorze plazmowym. Określono główne parametry gęstości elektronowej, gęstości jonowej, potencjał elektryczny, pole elektryczne.

Słowa kluczowe: wyładowanie jarzeniowe RF, model cieczy, metoda dzielenie czasu

wstecz