Numer: 08/2016 Str. 173
Autorzy: Svetlana Latushkina , Dmitiy Kuis , Alexey Zhizhchenko , Olga Posylkina , Olga Piskunova , Marek Opielak :
Tytuł: Nanostrukturalne warstwy TiN/Cu osadzane z osobnych przepływów plazmy
Streszczenie: W pracy przedstawiono wyniki badań strukturalnych oraz właściwości fizyko-mechanicznych powłok TiN/Cu, otrzymanych łukową metodą próżniowo-plazmowego osadzania warstw ze złożonych odrębnych źródeł. Zbadano charakterystyki nanorozmiarowych powłok na bazie TiN generowanych dopingowaniem elementu nie tworzącego związki chemiczne z tytanem i azotem przy wybranych parametrach technologicznych. Ustalono, że prawidłowości mikrotwardości oraz właściowści tarciowe powłok TiN/Cu zmieniają się przy różnym składzie pierwiastkowym
Słowa kluczowe: powłoki odporne na zużycie, łukowe osadzanie próżniowe, separacja, nanostruktura, współczynnik tarcia.