No/VOL: 06/2007 Page no. 60-62
Authors: Joanna Pawłat , Takahiro Matsuo , Toshitsugu Ueda , Jinxing Liang :
Title: Obwód elektryczny miernika nachylenia kąta wykorzystujący mostek diodowy do pomiaru pojemności
Abstract: W celu pomiaru bardzo malej różnicy pojemności z dużą dokładnością skonstruowano obwód elektryczny wykorzystujący mostek diodowy. Obwód został zaprojektowany dla miernika nachylenia kąta wykonanego z kryształu kwarcowego. Czujnik o strukturze grzebieniowej posiadał kilka ruchomych elektrod znajdujących się między elementami nieruchomymi. Sygnał wyjściowy obwodu był praktycznie proporcjonalny w stosunku do przesunięcia elektrod ruchomych. Obecnie osiągnięto dokładność miernika rzędu 0.0015 stopnia co odpowiada dokładności pomiaru pojemności rzędu 4.5 aF.
Key words: miernik nachylenia kąta, nieskończenie mała różnica pojemności, mostek diodowy