No/VOL: 01/2016 Page no. 93
Authors: Ewa Korzeniewska , Piotr Murawski , Andrzej Krawczyk , Ryszard Pawlak :
Title: Detekcja defektów cienkich struktur elektroprzewodzących z wykorzystaniem termografii
Abstract: W artykule zaprezentowano metodę wykrywania defektów warstw cienkich elektroprzewodzących powstałych w procesie ich wytwarzania lub użytkowania za pośrednictwem analizy zdjęć termograficznych. Warstwy te zostały wytworzone na elastycznym podłożu kompozytowym z wykorzystaniem technologii osadzania próżniowego PVD. W wyniku przepływu prądu elektrycznego przez próbki, dochodzi do ich nierównomiernego nagrzewania, a to stanowi podstawę do detekcji niejednorodności struktur w analizie termograficznej.
Key words: termografia, próżniowe nanoszenie cienkich warstw, PVD, cienkie warstwy elektroprzewodzące.