No/VOL: 09/2015 Page no. 199
Authors: Krzysztof Waczyński , Weronika Izydorczyk , Natalia Niemiec , Jerzy Uljanow , Wiesław Domański , Janusz Mazurkiewicz :
Title: Badania odpowiedzi sensorowej cienkich warstw oraz nanostruktur SnO2
Abstract: W pracy przedstawiono wyniki badań nad odpowiedzią na pobudzenie gazowe rezystancyjnych struktur czujnikowych z sensoryczną warstwą SnO2. Czułą na gazy warstwę sensorową wytworzono dwiema technologiami: reotaksjalnego wzrostu i termicznego utleniania (RGTO) i poprzez wzrost nanodrutów metodą termicznego osadzania z fazy gazowej. Klasyczną testową strukturę czujnikową poddano oddziaływaniu dwóch gazów: dwutlenku azotu o stężeniach 3, 8, 25, 80 i 240 ppm oraz wodoru o stężeniach 1500, 4000, 10000, 20000 i 40000 ppm, rejestrując odpowiedź warstwy sensorycznej pracującej w temperaturze 250°C i 300°C.
Key words: sensory, cienkie warstwy, nanostruktury SnO2, czujniki rezystancyjne, technologia RGTO, termiczne osadzanie z fazy gazowej.