No/VOL: 02/2015 Page no. 219
Authors: Tomasz Grzebyk , Piotr Szyszka , Anna Górecka-Drzazga :
Title: Polowa wyrzutnia elektronów dla miniaturowych urządzeń typu MEMS
Abstract: W artykule przedstawiono konstrukcję i technologię miniaturowego polowego źródła elektronów kompatybilnego z mikrosystemami MEMS (Micro-Electro-Mechanical System). Źródło składa się z katody polowej z warstwą nanorurek węglowych, elektrody ekstrakcyjnej w postaci siatki oraz krzemowej anody, przedzielonych szklanymi dystansownikami. Zaprezentowano charakterystyki prądowo-napięciowe wykonanych wyrzutni oraz określono wpływ geometrii elektrody ekstrakcyjnej na ich pracę. Uzyskano wysoki prąd emisji polowej 200 μA (U < 1000 V) oraz współczynnik transmisji elektronów przez siatkę sięgający 70%.
Key words: polowa wyrzutnia elektronów, elektroda ekstrakcyjna, MEMS, obudowa próżniowa.